基板外观检查机RV-2-3D

3维基板外观检查机

• 高速检查

使用新型3D组件实现高速化。

对比旧机型提高34%达成0.41sec/FOV

• 高精度

实现了高度分辨率为0.1μm、重复精度为10μm※。

实现精度的大幅提高。使用新技术可以取得鲜明高精度的3D图像。

            ※0402芯片时

• 检查方法

在以往的２Ｄ模板和进程模式上新加了３Ｄ模式。而且还新研制了圆角检查的专用算法。